|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
AES analysis of silicon nitride formation by 10 keV N+ and N2 + ion implantation |
| Auteur: |
Pan, J.S. Wee, A.T.S. Huan, C.H.A. Tan, H.S. Tan, K.L. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 47 (1996) nr. 12 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
1996 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 22 gevonden artikelen
| volgende >> |