|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 44 gevonden artikelen
| Titel: |
Buried Si3N4 layers in silicon produced by high-intensity implantation and rapid thermal annealing |
| Auteur: |
Gribkovskii, R.V. Komarov, F.F. Novikov, A.P. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 42 (1991) nr. 1-2 pagina's 2 p. |
| Jaar: |
1991 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 44 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |