|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 5 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
Kinetics and mechanisms of chemical reactions in nonequilibrium-plasma etching of silicon and silicon compounds |
| Auteur: |
Vinogradov, GK Nevzorov, PI Polak, LS Slovetsky, DI |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 32 (1982) nr. 9 pagina's 9 p. |
| Jaar: |
1982 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 5 van 13 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |