|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 53 van 94 gevonden artikelen
| Titel: |
Mechanisms of radical production in radiofrequency discharges of Cf3Cl, CF3Br, and certain other plasma etchants: spectrum of a transient species. (USA) |
| Auteur: | |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 31 (1981) nr. 6 pagina's 1 p. |
| Jaar: |
1981 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pergamon Press Ltd. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 53 van 94 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |