|
Process and characteristics of cobalt films deposited by thermal atomic layer deposition and silicide film formed |
|
|
|
Titel: |
Process and characteristics of cobalt films deposited by thermal atomic layer deposition and silicide film formed |
Auteur: |
Yang, Shuai Gao, Jianfeng Xiang, Jinjuan Liu, Weibing Hu, Yanpeng Wang, Zhenxing Liang, Meng Li, Lin Liu, Qing Wang, Guilei Li, Junfeng Zhao, Chao Luo, Jun |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 240 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2025 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|