|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 122 van 287 gevonden artikelen
| Titel: |
517. Influence of substrate temperature and partial pressure of PCl3 on trapping of phosphorus by epitaxial silicon film during the growth process |
| Auteur: | |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 24 (1974) nr. 5 pagina's 1 p. |
| Jaar: |
1974 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 122 van 287 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |