|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 136 gevonden artikelen
| Titel: |
Analysis of phase shift effects on metal etching profiles in RF-biased ICP reactors |
| Auteur: |
Yang, Paul Song, Wan Soo Ahn, Karam Lee, Chiyoung Oh, Byoungwook Kim, Beomseok Lee, Yoon Young Son, Jin Cheol |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 233 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2025 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 136 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |