|
Gate trench dry etching technology with damage blocking layer for GaN HEMT devices |
|
|
|
Titel: |
Gate trench dry etching technology with damage blocking layer for GaN HEMT devices |
Auteur: |
Guo, Jiaqi Wei, Ke Zhang, Sheng He, Xiaoqiang Zhang, Yichuan Zhang, Ruizhe Wang, Kaiyu Wang, Jianchao Zhou, Ailing Huang, Sen Zheng, Yingkui Chen, Xiaojuan Wang, Xinhua Liu, Xinyu |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 226 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|