|
DC magnetron sputter deposition in pure helium gas: formation of porous films or gas/solid nanocomposite coatings |
|
|
|
Titel: |
DC magnetron sputter deposition in pure helium gas: formation of porous films or gas/solid nanocomposite coatings |
Auteur: |
Ibrahim, Sara Fernández, Asunción Brault, Pascal Sauldubois, Audrey Desgardin, Pierre Caillard, Amael Hufschmidt, Dirk de Haro, Maria-Carmen Jiménez Sauvage, Thierry Barthe, Marie-France Thomann, Anne-Lise |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 224 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|