|
Fabrication of BN thin films by chemical vapor deposition on 4H–SiC (0001) single-crystalline surfaces |
|
|
|
Titel: |
Fabrication of BN thin films by chemical vapor deposition on 4H–SiC (0001) single-crystalline surfaces |
Auteur: |
Feng, Bomin Chen, Jun Yang, Yifei Yang, Mao Wang, Hongbing Zhong, Changyin Hao, Yawei Yang, Jinhua Jiao, Jian Yao, Yunxi |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 222 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|