|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 45 van 136 gevonden artikelen
| Titel: |
Enhanced erosion resistance in semiconductor reactive ion etcher focus ring with large grain PVT SiC |
| Auteur: |
Kim, Jongbeom Cho, Gyeongsu Choi, Young-Hoon Son, Ho-Sung Han, Heung Nam Lee, Joo Hyung Lim, Taehwan Kim, Jung Han Oh, Kyu Hwan |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 222 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2024 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Authors |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 45 van 136 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |