|
Cage effect of film mesoscopic structure on activation of TiZrHfV non-evaporable getter |
|
|
|
Titel: |
Cage effect of film mesoscopic structure on activation of TiZrHfV non-evaporable getter |
Auteur: |
Shi, Qingzhi Wang, Sihui Ma, Yongsheng Shi, Shiyuan Sun, Fei Wang, Pengcheng Huang, Tao Huang, Tao Wang, Lixin Zhao, Xiaoguang Lu, Meitong Chen, Shuping |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 222 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|