|
Investigation on the preparation of large area diamond films with 150–200 mm in diameter using 915 MHz MPCVD system |
|
|
|
Titel: |
Investigation on the preparation of large area diamond films with 150–200 mm in diameter using 915 MHz MPCVD system |
Auteur: |
Weng, J. Liu, F. Wang, Z.T. Guo, N.F. Fan, F.Y. Yang, Z. Wang, J.B. Wang, H. Xiong, L.W. Zhao, H.Y. Wang, J.H. |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 217 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2023 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|