|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 89 van 92 gevonden artikelen
| Titel: |
The role of nitrogen addition in C4F8/Ar plasma to modulate the plasma process from polymerization to etching |
| Auteur: |
Park, Woojin Han, Jonggu Park, Solee Moon, Se Youn |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 216 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 89 van 92 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |