|
Research on the mechanism and influence of P incorporation in N-rich nitride AlPN and growth of high quality AlPN/GaN HEMT |
|
|
|
Titel: |
Research on the mechanism and influence of P incorporation in N-rich nitride AlPN and growth of high quality AlPN/GaN HEMT |
Auteur: |
Yao, Yixin Zhang, Yachao Zhang, Jincheng Li, Yifan Ma, Jinbang Chen, Kai Zhu, Jiaduo Xu, Shengrui Bai, Junchun Cheng, Bin Zhao, Shenglei Hao, Yue |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 216 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2023 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|