|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 81 van 81 gevonden artikelen
| Titel: |
Zr-Ti getter film integration in MEMS vacuum packaging |
| Auteur: |
Lemettre, Sylvain Bessouet, Clément Aassime, Abdelhanin Coste, Philippe Bosseboeuf, Alain Moulin, Johan |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 210 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 81 van 81 gevonden artikelen
| << vorige |