Influence of the argon ratio on the structure and properties of thin films prepared using PECVD in TMSAc/Ar mixtures
Titel:
Influence of the argon ratio on the structure and properties of thin films prepared using PECVD in TMSAc/Ar mixtures
Auteur:
Kelarová, Štěpánka Přibyl, Roman Homola, Vojtěch Polčák, Josef Charvátová Campbell, Anna Havlíček, Marek Vrchovecká, Kateřina Václavik, Richard Zábranský, Lukáš Buršíková, Vilma