|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 127 van 128 gevonden artikelen
| Titel: |
Vertical sidewall of silicon nitride mask and smooth surface of etched-silicon simultaneously obtained using CHF3/O2 inductively coupled plasma |
| Auteur: |
Sun, Jiabao Chen, Zhengyang Zhou, Shiqi Sun, Yijun Liu, Zhi Chen, Changhong Liu, Yanhua Sun, Ying Wang, Meifang Xie, Shijian Liu, Wucan Zeng, Qun Wu, Haifeng Bai, Zhanqi |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 207 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2023 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 127 van 128 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |