|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 16 van 80 gevonden artikelen
| Titel: |
Development of a cruciform radio-frequency closed magnetron sputtering source including four sectorial magnetron sputtering discharges for uniform target utilization |
| Auteur: |
Yasuda, Koya Ohtsu, Yasunori Schulze, Julian |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 202 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2022 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 16 van 80 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |