|
Study of the role of air exposure time to interface oxide on HCl treated InAs (100) before atomic layer deposition of Al2O3 |
|
|
|
Titel: |
Study of the role of air exposure time to interface oxide on HCl treated InAs (100) before atomic layer deposition of Al2O3 |
Auteur: |
Jing, Meiyi Lu, Tongkang Sun, Yong Zhao, Xiaoliang Feng, Ze Wang, Yitong Liu, Hui Wang, Wei-Hua Lu, Feng Cheng, Yahui Han, Genquan Dong, Hong |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 193 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|