|
Well-suppressed interface states and improved transport properties of AlGaN/GaN MIS-HEMTs with PEALD SiN gate dielectric |
|
|
|
Titel: |
Well-suppressed interface states and improved transport properties of AlGaN/GaN MIS-HEMTs with PEALD SiN gate dielectric |
Auteur: |
Zhang, S. Wei, K. Zhang, Y.C. Chen, X.J. Huang, S. Yin, H.B. Liu, G.G. Yuan, T.T. Zheng, Y.K. Wang, X.H. Liu, X.Y. |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 191 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2021 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|