|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Design and fabrication of an absolute pressure MEMS capacitance vacuum sensor based on silicon bonding technology |
| Auteur: |
Xu, Mahui Feng, Yongjian Han, Xiaodong Ke, Xin Li, Gang Zeng, Yibo Yan, Huangping Li, Detian |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 186 () nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2021 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |