|
Structural and optical properties of Si hyperdoped with Te by ion implantation and pulsed laser annealing |
|
|
|
Titel: |
Structural and optical properties of Si hyperdoped with Te by ion implantation and pulsed laser annealing |
Auteur: |
Komarov, Fadei F. Nechaev, Nikita S. Ivlev, Gennadii D. Vlasukova, Liudmila A. Parkhomenko, Irina N. Wendler, Elke Romanov, Ivan A. Berencén, Yonder Pilko, Vladimir V. Zhigulin, Dmitrii V. Komarov, Alexander F. |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 178 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2020 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|