|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 63 gevonden artikelen
| Titel: |
Effects of superimposed dual-frequency (13.56/2 MHz) inductively coupled plasma source on the uniformity of Ar/CF4 plasma |
| Auteur: |
Yang, Kyung Chae Shin, Ye Ji Tak, Hyun Woo Lee, Wonseok Lee, Seung Bae Yeom, Geun Young |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 168 (2019) nr. C pagina's p. |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 63 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |