|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 63 gevonden artikelen
| Titel: |
Abnormal characteristics of etched profile on thick dielectrics for MEMS in inductively coupled plasma |
| Auteur: |
Lim, Nomin Han, Il Ki Kim, Young-Hwan Lee, Hyun Woo Cho, Yunsung Kim, Jeong-Su Im, Yeon-Ho Kwon, Kwang-Ho |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 166 () nr. C pagina's 45-49 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 63 gevonden artikelen
| volgende >> |