|
Fabrication of large-scale uniform submicron inverted pyramid pit arrays on silicon substrates by laser interference lithography |
|
|
|
Titel: |
Fabrication of large-scale uniform submicron inverted pyramid pit arrays on silicon substrates by laser interference lithography |
Auteur: |
Xu, Ran Deng, Zhen Yue, Yin Wang, Sen Li, Xinxin Ma, Ziguang Jiang, Yang Wang, Lu Du, Chunhua Jia, Haiqiang Wang, Wenxin Chen, Hong |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 165 (2019) nr. C pagina's 1-6 |
Jaar: |
2019 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|