|
Features of microstructure of ZrN, Si3N4 and ZrN/SiNx nanoscale films irradiated by Xe ions |
|
|
|
Titel: |
Features of microstructure of ZrN, Si3N4 and ZrN/SiNx nanoscale films irradiated by Xe ions |
Auteur: |
Uglov, V.V. Abadias, G. Zlotski, S.V. Saladukhin, I.A. Safronov, I.V. Shymanski, V.I. Janse van Vuuren, A. O'Connell, J. Skuratov, V. Neethling, J.H. |
Verschenen in: |
Vacuum |
Paginering: |
Jaargang 143 (2017) nr. C pagina's 4 p. |
Jaar: |
2017 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|