|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Anomalous rapid diffusion of phosphorus caused by heavily implanted carbon in pre-amorphized ultrashallow junctions |
| Auteur: |
Chang, Ruey-Dar Liao, Hsueh-Chun Tai, Chih-Ming |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 140 (2017) nr. C pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |