|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 14 van 19 gevonden artikelen
| Titel: |
Parametric study of STiGer etching process in order to reduce extended formation of scalloping defects on the sidewalls of silicon submicron trenches |
| Auteur: |
Kafrouni, W. Tillocher, T. Ladroue, J. Lefaucheux, P. Boufnichel, M. Ranson, P. Dussart, R. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 133 (2016) nr. C pagina's 8 p. |
| Jaar: |
2016 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 14 van 19 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |