|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 46 van 48 gevonden artikelen
| Titel: |
Ultrathin ZrBxOy films as diffusion barriers in Cu interconnects |
| Auteur: |
Meng, Y. Song, Z.X. Chen, J.H. Ma, F. Li, Y.H. Wang, J.F. Wang, C.C. Xu, K.W. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 119 (2015) nr. C pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 46 van 48 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |