|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 20 van 28 gevonden artikelen
| Titel: |
Smooth etching of epitaxially grown AlN film by Cl2/BCl3/Ar-based inductively coupled plasma |
| Auteur: |
Liu, Xianwen Sun, Changzheng Xiong, Bing Niu, Lang Hao, Zhibiao Han, Yanjun Luo, Yi |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 116 (2015) nr. C pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 20 van 28 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |