|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 56 van 67 gevonden artikelen
| Titel: |
Pulsed vacuum and etching systems: Theoretical design considerations for a pulsed vacuum system and its application to XeF2 etching of Si |
| Auteur: |
Mousavi, Arash Kheyraddini Abbas, Khawar Elahi, Mirza Mohammad Mahbube Lima, Edidson Moya, Stephen Butner, Joseph Daniel Piñon, Denise Benga, Adeeko Mousavi, Behnam Kheyraddini Leseman, Zayd Chad |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 109 (2014) nr. C pagina's 7 p. |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 56 van 67 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |