|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
Chemistry studies of SF6/CF4, SF6/O2 and CF4/O2 gas phase during hollow cathode reactive ion etching plasma |
| Auteur: |
Tezani, L.L. Pessoa, R.S. Maciel, H.S. Petraconi, G. |
| Verschenen in: |
Vacuum |
| Paginering: | Jaargang 106 (2014) nr. C pagina's 5 p. |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |