|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
An effective procedure for sensor variable selection and utilization in plasma etching for semiconductor manufacturing |
| Auteur: |
Baek, Kye Hyun Edgar, Thomas F. Song, Kiwook Choi, Gilheyun Cho, Han Ku Han, Chonghun |
| Verschenen in: |
Computers and chemical engineering |
| Paginering: | Jaargang 61 (2014) nr. C pagina's 10 p. |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |