|
Top-down delayering to expose large inspection area on die side-edge with Platinum (Pt) deposition technique |
|
|
|
Titel: |
Top-down delayering to expose large inspection area on die side-edge with Platinum (Pt) deposition technique |
Auteur: |
Yap, H.H. Tan, P.K. Low, G.R. Dawood, M.K. Feng, H. Zhao, Y.Z. He, R. Tan, H. Zhu, J. Liu, B. Huang, Y.M. Wang, D.D. Lam, J. Mai, Z.H. |
Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
Paginering: |
Jaargang 55 (2015) nr. 9-10 pagina's 6 p. |
Jaar: |
2015 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|