Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
   volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 1 van 140 gevonden artikelen
 
 
  Accurate extraction of the mechanical properties of thin films by nanoindentation for the design of reliable MEMS
 
 
Titel: Accurate extraction of the mechanical properties of thin films by nanoindentation for the design of reliable MEMS
Auteur: Sasaki, Yuji
Ciappa, Mauro
Masunaga, Takayuki
Fichtner, Wolfgang
Verschenen in: Microelectronics reliability
Paginering: Jaargang 50 (2010) nr. 9-11 pagina's 5 p.
Jaar: 2010
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 1 van 140 gevonden artikelen
 
   volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland