Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 59 van 87 gevonden artikelen
 
 
  Relationship between microstructure and electromigration damage in unpassivated PVD copper damascene interconnects
 
 
Titel: Relationship between microstructure and electromigration damage in unpassivated PVD copper damascene interconnects
Auteur: Koetter, T.G.
Wendrock, H.
Schuehrer, H.
Wenzel, C.
Wetzig, K.
Verschenen in: Microelectronics reliability
Paginering: Jaargang 40 (2000) nr. 8-10 pagina's 5 p.
Jaar: 2000
Inhoud:
Uitgever: Published by Elsevier B.V.
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 59 van 87 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland