|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 80 gevonden artikelen
| Titel: |
Annealing effects in the PECVD SiO2 thin films deposited using TEOS, Ar and O2 mixture |
| Auteur: |
Viana, C.E Morimoto, N.I Bonnaud, O |
| Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
| Paginering: | Jaargang 40 (2000) nr. 4-5 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2000 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 80 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |