|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 21 van 21 gevonden artikelen
| Titel: |
Thermodynamic study, compositional and electrical characterization of LPCVD SiO2 films grown from TEOS/N2O mixtures |
| Auteur: |
Vamvakas, V.Em. Davazoglou, D. Vahlas, C. |
| Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
| Paginering: | Jaargang 38 (1998) nr. 2 pagina's 5 p. |
| Jaar: |
1998 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Science Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 21 van 21 gevonden artikelen
| << vorige |