Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 10 van 28 gevonden artikelen
 
 
  Electrical and reliability characterization with an optimized extrapolation model of two- and three-dimensional metal-insulator-metal decoupling capacitors with ZrAlxOy high-κ dielectric under BEoL-friendly conditions
 
 
Titel: Electrical and reliability characterization with an optimized extrapolation model of two- and three-dimensional metal-insulator-metal decoupling capacitors with ZrAlxOy high-κ dielectric under BEoL-friendly conditions
Auteur: Falidas, Konstantinos Efstathios
Kühnel, Kati
Rudolph, Matthias
Everding, Maximilian
Reck, André
Czernohorsky, Malte
Heitmann, Johannes
Verschenen in: Microelectronics reliability
Paginering: Jaargang 173 () nr. C pagina's p.
Jaar: 2025
Inhoud:
Uitgever: The Authors
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 10 van 28 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland