|
Mechanism of electrical performance deterioration in a-Si:H TFTs caused by source/drain Decap treatment |
|
|
|
Titel: |
Mechanism of electrical performance deterioration in a-Si:H TFTs caused by source/drain Decap treatment |
Auteur: |
Chen, Wenxiang Luo, Xu Liu, Dan Ling, Faling Wu, Fang Liu, Gaobin Zhang, Shufang Zhang, Hong Li, Wanjun Fang, Liang |
Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
Paginering: |
Jaargang 156 () nr. C pagina's p. |
Jaar: |
2024 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|