|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 304 van 1093 gevonden artikelen
| Titel: |
Dielectric charging in silicon nitride films for MEMS capacitive switches: Effect of film thickness and deposition conditions |
| Auteur: |
Zaghloul, U. Papaioannou, G. Coccetti, F. Pons, P. Plana, R. |
| Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
| Paginering: | Jaargang 49 (2009) nr. 9-11 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 304 van 1093 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |