|
Effect of the functionalization process on the performance of SiGe MEM resonators used for bio-molecular sensing |
|
|
|
Titel: |
Effect of the functionalization process on the performance of SiGe MEM resonators used for bio-molecular sensing |
Auteur: |
Khaled, A. Raoof, M. Cherman, V. Jans, K. Abbas, M. Ebrahim, Sh. Bryce, G. Verheyen, P. Witvrouw, A. De Wolf, I. |
Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
Paginering: |
Jaargang 52 (2012) nr. 9-10 pagina's 6 p. |
Jaar: |
2012 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|