|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 211 van 425 gevonden artikelen
| Titel: |
Intrinsic stress fracture energy measurements for PECVD thin films in the SiO x C y N z:H system |
| Auteur: |
King, S.W. Gradner, J.A. |
| Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
| Paginering: | Jaargang 49 (2009) nr. 7 pagina's 6 p. |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 211 van 425 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |