|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 88 van 190 gevonden artikelen
| Titel: |
High quality gate insulator film formation on SiC using by microwave-excited high-density plasma |
| Auteur: |
Tanaka, Koutarou Tanaka, Hiroaki Teramoto, Akinobu Sugawa, Shigetoshi Ohmi, Tadahiro |
| Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
| Paginering: | Jaargang 47 (2007) nr. 4-5 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 88 van 190 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |