|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 86 van 190 gevonden artikelen
| Titel: |
High-K dielectric deposition in 3D architectures: The case of Ta2O5 deposited with metal–organic precursor TBTDET |
| Auteur: |
Pinzelli, L. Gros-Jean, M. Bréchet, Y. Volpi, F. Bajolet, A. Giraudin, J.-C. |
| Verschenen in: |
Microelectronics reliability |
| Paginering: | Jaargang 47 (2007) nr. 4-5 pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2007 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Published by Elsevier B.V. |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 86 van 190 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |