Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 102 van 123 gevonden artikelen
 
 
  Significantly improving sub-90nm CMOSFET performances with notch-gate enhanced high tensile-stress contact etch stop layer
 
 
Titel: Significantly improving sub-90nm CMOSFET performances with notch-gate enhanced high tensile-stress contact etch stop layer
Auteur: Hsu, Chia-Wei
Fang, Yean-Kuen
Yeh, Wen-Kuan
Lin, Chien-Ting
Verschenen in: Microelectronics reliability
Paginering: Jaargang 48 (2008) nr. 11-12 pagina's 4 p.
Jaar: 2008
Inhoud:
Uitgever: Elsevier Ltd
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 102 van 123 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland