|
Transistors on hybrid UTBB/Bulk substrates fabricated by local internal BOX dissolution |
|
|
|
Titel: |
Transistors on hybrid UTBB/Bulk substrates fabricated by local internal BOX dissolution |
Auteur: |
Nguyen, P. Andrieu, F. Cassé, M. Tabone, C. Perreau, P. Lafond, D. Dansas, H. Tosti, L. Veytizou, C. Landru, D. Kononchuk, O. Guiot, E. Nguyen, B.-Y. Faynot, O. Poiroux, T. |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 90 (2013) nr. C pagina's 5 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|