|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 9 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
Improvement of metal gate/high-k dielectric CMOSFETs characteristics by neutral beam etching of metal gate |
| Auteur: |
Min, K.S. Park, C. Kang, C.Y. Park, C.S. Park, B.J. Kim, Y.W. Lee, B.H. Lee, Jack C. Bersuker, G. Kirsch, P. Jammy, R. Yeom, G.Y. |
| Verschenen in: |
Solid-state electronics |
| Paginering: | Jaargang 86 (2013) nr. C pagina's 4 p. |
| Jaar: |
2013 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Elsevier Ltd |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 9 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |