|
Comparative study of electrical characteristics in (100) and (110) surface-oriented nMOSFETs with direct contact La-silicate/Si interface structure |
|
|
|
Titel: |
Comparative study of electrical characteristics in (100) and (110) surface-oriented nMOSFETs with direct contact La-silicate/Si interface structure |
Auteur: |
Kawanago, T. Kakushima, K. Ahmet, P. Kataoka, Y. Nishiyama, A. Sugii, N. Tsutsui, K. Natori, K. Hattori, T. Iwai, H. |
Verschenen in: |
Solid-state electronics |
Paginering: |
Jaargang 84 (2013) nr. C pagina's 5 p. |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Elsevier Ltd |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|